O princípio do MEV é baseado na emissão termionicamente de um feixe de elétrons a partir de um filamento metálico.
O feixe de elétrons é focado por lentes em um feixe da ordem de 0,4 a 0,5 nm.
Quando o feixe interage com a amostra, os elétrons perdem energia por dispersão e absorção formando um volume de interação, que penetra até 5 µm para dentro da superfície da amostra.
Informações adicionais: O MEV produz imagens com alta resolução da superfície de uma amostra, com aparência tridimensional e ampliação de até 300.000 vezes, sendo útil para avaliar a estrutura superficial.
O MEV com o acoplamento de EDS (Detector de Energia Dispersiva) é um dos equipamentos mais completos e importantes na análise de materiais.
